Park NX-TSH的龙门架设计平板式探针扫描器专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品尺寸可以测到2200 mm

Park原子力显微镜公司（Park Systems Inc.）宣布推出高分辨率、自动化原子力显微镜新品——Park NX-TSH，据介绍，Park NX-TSH的龙门架设计平板式探针扫描器专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品可以测到2200 mm。另外，其模块化设计还可在提供样品3D形貌的同时提供微区电流测量。

Park原子力显微镜会在接下来的Semicon China时候进行实时的live demo，诚挚邀请大家莅临参观。为了迎合OLED市场的需求，原子力显微镜制造商Park 原子力显微镜开发了Park NX-TSH，扩大了其Gen8 +和大型平板显示器的AFM工具。为制造下一代平板显示器制造商而开发，以克服300 mm样品尺寸的限制。

Park NX-TSH：用于大样品分析，样品尺寸可测到2200 mm！ TSH是一种自动移动的扫描头，适用于对OLED，LCD，光子学尺寸可高达2200 mm的大样品进行工业AFM测量，用于大样品分析。自动的针尖扫描头采用气载台技术，可将x，y，z扫描仪直接移动到基板上的所需位置。“Park NX-TSH专为生产制造下一代平板显示器的半导体厂（fab）开发设计，并克服了300 mm的门槛限制。”Park市场部副总裁Keibock Lee谈道。

自动化的Park NX-TSH系统通过龙门式尖端扫描仪系统克服了纳米计量学的挑战，该系统可直接移动到样品上的某个位置，并生成粗糙度测量，台阶高度测量，临界尺寸和侧壁测量的高分辨率图像。 Park NX-TSH可以在x，y和z方向上扫描针尖，扫描方向为100 µm x 100μm（x-y方向），z方向为15μm，并具有灵活的卡盘，可容纳大型和重型样品。随着对更大尺寸的平板显示器的需求增加到65英寸，75英寸甚至更多。Park NX-TSH通过自动针尖扫描系统克服了这些挑战，而在龙门式针尖扫描仪系统中克服了纳米计量学的挑战。

Park NX-TSH专为Gen8+和大平板显示器研发，不仅能够进行纳米级尺寸测量，也可进行微区电性测试。同时，Park NX-TSH还可以兼容多种型号机械手臂，实现自动化测量。

该全自动Park NX-TSH系统专为大样品量身订造，扫描器可以固定在龙门架上，并能提供高分辨率的粗糙度测量，步长测量，临界尺寸和侧壁测量。 Park NX-TSH将样品固定在样品卡盘上，连接到机架的针尖扫描头移动到表面样品的测量位置。这也使得Park NX-TSH针尖扫描头系统克服了样品尺寸和重量的限制。 原子力显微镜是一种准确、无损的纳米级样品测量方法，使用Park NX-TSH，可以在龙门式桥架上的OLED，LCD等上获得可靠的高分辨率AFM图像，从而系统的提高生产率和质量。

Park原子力显微镜会在6月27日-29日Semicon China现场展示新品，届时大家感兴趣可以现场观摩咨询。也可以前往parksystems.com/tsh/video查看NX-TSH的视频。更多信息请点击 http://parksystems.cn/products/industrial-afm/park-nx-tsh/overview