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世界领先的原子力显微镜制造商帕克原子力显微镜公司( Park Systems,以下称帕克公司)宣布推出 Park NX-Hybrid WLI, 这是首个将原子力显微镜 (AFM) 与白光干涉仪 (WLI) 轮廓测量技术联用相结合的半导体机台。 白光干涉测量 (WLI) 是一种无损伤、非接触式的光学技术,用于生成高保真的2D 和 3D 的轮廓模型,现在广泛用于半导体生产质量保证。 帕克公司推出 的Park NX-Hybrid WLI 作为一种强大的半导体计量工具,将 AFM 和 WLI 的核心优势整合到一个最佳系统中。

Park NX-Hybrid WLI是一款强大的半导体计量工具,作为首个原子力显微镜 (AFM) 与白光干涉仪 (WLI) 轮廓测量技术相结合的机台,Park NX-Hybrid WLI充分将 AFM 和 WLI 的核心优势整合到一个最佳系统中。

 

“Park NX-Hybrid WLI 为需要大面积扫描和纳米级计量的半导体应用提供了全面互补的计量解决方案。”帕克公司业务发展执行副总裁 Ryan Yoo 博士评论道。“随着设备制造商对纳米计量要求的不断提高,WLI 和 AFM革命性的设计和无缝衔接充分显示了帕克公司致力于为客户提供优质解决方案的决心。

整合系统中,基于Park NX-Wafer而成的Park AFM,是业界领先的半导体及相关设备的自动化原子力显微镜系统,能够进行线上生产质量保证和研发。 组合而成的AFM/WLI系统使用 WLI模块能够在超广的区域提供高通量成像,并使用AFM在需要的区域提供亚埃高度分辨率的纳米级计量。其中“热点检测”技术能快速定位高分辨率AFM的缺陷位置。此系统可以使用该技术比较和参考目标样本区域的图像来检测图案结构的缺陷。

Park WLI 模块支持白光干涉测量 (WLI) 和相移干涉测量 (PSI) 模式。 PSI 模式通过电动滤光片更换器启用,两个物镜可以由电动镜头自动更换,支持 2.5倍、10倍、20倍、50倍的物镜放大倍率,并具有 100x CMOS 的相机功能。

Park NX-Hybrid WLI 糅合了两种互补的技术,是一个全面综合性自动化计量系统。与两个独立的系统相比,该系统可有效节约成本。

“与传统上独立的 WLI 和 AFM 系统不同,Park NX-Hybrid WLI 以无缝衔接的方式实现了更多功能,并以极低的成本创建了一个完整的集成工具,”Park Americas 总经理 Stefan Kaemmer 博士评论道。“将两种工具安装在同一个支架上并由一个 EFEM 馈送,该系统创建了完全集成和可交换的数据,减少了 '晶圆厂占地面积' 并提高了更大面积的吞吐量。"

单独的 WLI 已经不能满足特定的需要,应运而生的Park NX-Hybrid WLI可适用于更高分辨率和精确度的应用,例如高级化学机械抛光 (CMP) 计量和监测、凹陷、腐蚀和边缘过度腐蚀 (EOE) ,膜厚,柱高,孔结构和模具比较。除此之外,它还能应用于包括硅通孔 (TSV) 、微凸点测量重分布层 (RDL) 测量和光刻胶残留检测在内的高级封装。

新款Park NX-Hybrid机台是帕克公司今年计划推出的一系列混合计量产品的一部分,用以提高和改善原子力显微镜在各大工业和学术研究应用中的利用率。

请前往www.parksystems.cn/hybrid-wli查看更多信息。


关于帕克原子力显微镜公司:

帕克原子力显微镜是全球第一个推出商业原子力显微镜产品的上市公司。帕克公司成立30多年来,始终致力于纳米领域的形貌和力学测量以及半导体先进制程工艺的计量的新技术新产品的开发。帕克独有的技术是将XY和Z扫描器分离,实现探针与样品间的真正非接触,避免形貌扫描过程中因探针磨损带来的图像失真,快速成像还可以大大提高测试效率,降低实验测试成本。帕克公司成立至今,致力于新产品和新技术的开发,为客户解决各种技术难题,提供最完善的解决方案。Park公司的原子力显微镜以高尖端产品质量和快捷优质的售后服务受到广大客户的认可。 为了给客户提供高效便捷的售后服务,帕克公司在中国区建立有售后服务中心并配有备件仓库。

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