Park低杂讯原子力显微镜与长距离滑动平台（Long range sliding stage）技术相结合，创造出原子等级的长距离表面轮廓分析仪器（Atomic Force Profiler, AFP）. 杰出轮廓的精度和重复性，使其成为半导体产业先进制造中不可或缺的分析仪器。本次讲座介绍了AFM以及非接触式扫描的基本原理，比较不同表面轮廓分析仪器的差异，再进一步讲解Atomic Force Profiler 模式在不同类型样品的量测及分析方法，以及Atomic Force Profiler大范围扫描在产业界的研究及应用的优势与发展。