Park NX-TSH技术参数
*本技术参数是可定制的。 请咨询Park原子力显微镜，以获取更多信息。
系统
技术参数
样品尺寸*
520 mm x 520 mm x 12 mm, 10 kg
电动式X方向载物台*
travels up to 625 mm, ± 3 µm分辨率
电动式Y方向载物台*
行程达525 mm, ± 3 µm分辨率
电动式Z方向载物台*
Z轴移动距离为25 mm, 0.08 µm分辨率, < 1 µm重复性
电动式对焦台*
Z轴行进光学距离为9 mm
COGNEX图案识别
图案校对分辨率为1/4像素
扫描器
性能
XY扫描范围
100 μm × 100 μm
XY分辨率
0.15 nm
Z扫描范围
15 μm
Z分辨率
0.016 nm
AFM和XY移动平台
控制器
ADC
18个频道
4个高速通道 ADC channels
X、Y和Z位置传感器(24位ADC)
DAC
17 channels
2个高速DAC通道
X、Y和Z的定位(20位DAC)
合规
CE
SEMI S2/S8标准
振动，噪声，静电防护（ESD）性能
地板振动要求
< 0.5 µm/s (10 Hz to 200 Hz w/ Active Vibration Isolation System)
噪音
>20 dB attenuation w/ Acoustic Enclosure
基础设施需求
待机室温
10 °C ~ 40 °C
工作室温
18 °C ~ 24 °C
湿度
30%至60% (不凝结)
地板振动要求
VC-D (6 µm/sec)
噪音
低于65 dB
气动式
真空度 : -80 kPa
CDA (or N2): 0.7 MPa
电源额定值
208V - 240 V,单相, 15 A (max)
总耗电量
Consult Park Systems
接地电阻
低于100欧姆
选项
自动换针器 (ATX)
ATX通过模式识别自动定位针尖，并使用一种新的磁性方法来取放新旧探针。
电离系统
电离系统可快速有效地去除静电荷。由于该系统始终生成并保持正负离子的理想平衡，因此可以创建一个比较稳定的电荷环境，几乎不污染周围区域，并且大大降低在样品处理过程中产生意外静电的风险。
尺寸 & 重量
NX-TSH
2334 mm(w) × 1450 mm(d) x 2450 mm(h), 2720 kg approx. (包括控制箱)
升限高度: 2500 mm以上
操作员工作空间: 3700 mm (w) x 3000 mm, minimum (d)
