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  • Park
    NX20
    AFM Specifications

 

Park NX20技术参数

扫描器

Z扫描器

柔性引导高推动力扫描器

扫描范围: 15 µm (可选 30 µm)
高度信号噪声等级: 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz带宽)

XY扫描器

闭环控制的柔性引导XY扫描器

扫描范围: 100 µm × 100 µm
(可选 50 µm × 50 µm)

 

驱动台

Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)
聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)
XY位移台行程范围 : 150 mm x 150 mm (Motorized)

 

样品架

样品尺寸 : 基本配置最大开放空间为 150 mm x 150 mm,厚度最大值为 20 mm (可选,最大可扩展到 200 mm x 200 mm)
样品重量 : < 500 g

 

光学

10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µm分辨率)
样品表面和悬臂的直观同轴影像
视野 : 840 × 630 µm (带10倍物镜)
CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)

 

软件

SmartScan™

AFM系统控制和数据采集的专用软件
智能模式的快速设置和简易成像
手动模式的高级使用和更精密的扫描控制

XEI

AFM数据分析软件

 

电子

集成功能
4通道数字锁相放大器
数据Q控制


信号处理
  • ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor
  • DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning
  • Maximum data size : 4096 x 4096 pixels

连接外部信号
20个嵌入式输入/输出端口
5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP, 调制和交流偏压
 

AFM模式
(*可选项)

标准成像

真正非接触式原子力显微镜
PinPoint™ 原子力显微镜
接触式原子力显微镜
横向力显微镜(LFM)
相位成像
轻敲式原子力显微镜

力测量

力-距离(F/d)光谱
力谱成像

介电/压电性能

静电力显微镜 (EFM)
动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)
压电力显微镜 (PFM)
高压压电力显微镜*

机械性能

力调制显微镜 (FMM)
纳米压痕*
纳米刻蚀*
高压纳米刻蚀*
纳米操纵*

磁学性能*

磁力显微镜 (MFM)
可调制磁力显微镜

 

电性能

导电原子力显微镜 (C-AFM)*
IV 谱线*
扫描开尔文探针显微镜 (KPFM)
扫描电容显微镜 (SCM)*
扫描电阻显微镜 (SSRM)*
扫描隧道显微镜 (STM)*
光电流测绘 (PCM)*

化学性能*

功能化探针的化学力显微镜
电化学显微镜 (EC-AFM)

 

高级选项

定制您独有的原子力显微镜

自动数据收集和分析,适合工业客户产线测量

option-automatic-data

Park的自动化控制软件,可根据您的预设程序自动进行AFM测量。它可以准确地收集数据,执行模式识别,并使用它的寻边器和光学模块进行分析,不需要人工介入,从而为您节省大量宝贵时间。

倾斜样品倾角夹具,可帮助您进行样品侧壁成像。

option-sidewall

NX20的创新架构实现了对样品侧壁和表面的检测,还能够测量出相应角度。这为您提供了更多的创新研究方案和对样品更深入的理解。

            

温度稳定的隔音罩

创新的控制设计使Park NX20能够快速达到温度平衡
NX20具有主动隔振功能。


集成编码器的自动载台

• XY马达运动工作时分辨率为1 µm,重复率为2 µm。
• Z马达运动的分辨率为0.1 µm,分辨率为1 µm。

样品盘

• 用于电气测量的专用小样品架
• 用于固定晶圆的真空槽



温度控制

· 温控台 1:  -25 °C to +170 °C
·温控台 2:  Ambient to +250 °C
· 温控台 3:  Ambient to +600 °C

 

Dimensions in mm

demensions

Park NX20 - Specifications | Park Atomic Force Microscope