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  • Park
    NX20
    AFM Technology
 

FA和研究实验室提供精确的形貌测量解决方案

样品侧壁三维结构测量

3D-wall

NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面,并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必备的。


对样品和基片进行表面光洁度测量

表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一,能够带来精确的失效分析和质量保证。
  获取更多的相关应用
surface-roughness

高分辨率电子扫描模式

tech-quickstep

QuickStep SCM
最快的扫描式电容显微镜

PinPoint AFM
无摩擦导电原子力显微镜

  获取更多的相关应用
 

多种独有的专利技术帮助顾客减少测试时间

 CrN样品所做的针尖磨损实验

Tip Wearing Experiment with CrN Sample
  • 通过对比重复扫描情况下探针尖端的形状变化,您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。

最佳AFM测量

ETD-Non-Contact
  • 借助真正非接触模式,探针尖端在扫描氮化铬样品(即探针检测样品)200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强,会让普通的探针很快变钝。
 

低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌

没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌

超低噪声Z探测器,噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像,没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。

 

  • 使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。
  • 在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm。
  • 没有前沿或后沿过冲现象
  • 终身无需校准,减少设备维护成本

Park NX系列原子力显微镜

no-creep-effect

传统的原子力显微镜

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Park NX20特点

100 µm x 100 µm扫描范围的XY平板扫描器2D-Flexure-Guided-ScannerXY平板扫描器,采用压电堆栈设计,减少传统扫描过程中XY的正交影响,具有高速的响应频率,实现精确的样品纳米级扫描。

低噪声XYZ位置传感器
position-sensors

低噪声XYZ闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。

自动多点样品扫描

借助驱动样品台,可编程步进扫描,多区域成像,以下是它的工作流程:

Step-and-Scan

1) 扫描成像
2) 抬起悬臂
3) 移动驱动平台到设定位置
4) 进针
5) 重复扫描

该自动化功能可大大减少扫描过程中人工移动样品所需时间,从而缩短测试时间,提高生产率。

扫描头滑动嵌入式设计
SLD-head

您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜扫描头。该设计可将扫描头自动锁定至预对准的位置,无需调节激光位置,激光自动投射在针尖上。借助于四象限检测器,显微镜可精确成像并准确测定力.距离曲线。

用于高级扫描模式易插拔扩展槽
expansion-slot

您只需要将可选模块插入扩展槽,您便可激活高级高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块化设计,其产品线的配置兼容性大大提高。

高速24位数字电子控制器
digital-electronics

所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理的。该控制器是全数字、24位高速控制器,可确保Park 真正非接触模式下的成像精度和速度。凭借着低噪声设计和高速处理单元,该控制器是纳米级成像和精确电压电流测量的绝佳选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能,更好的解决方案,是资深研究院的最佳选择。

XY.Z轴检测器的24位信号分辨率
• XY轴(50 μm)的最小分辨率为0.003 nm

• Z轴(15 μm)的最小分辨率为0.001 nm

嵌入式数字信号处理功能
• 三个锁相放大器
• 探针弹簧系数校准

• 数据Q控制

集成式信号端口
• 专用可编程信号输入/输出端口

• 7个输入端口和3个输出端口

高速Z轴扫描器,扫描范围达15 µm 
z-scanner

高强度压电堆栈和挠性设计,标准Z轴扫描器的共振频率高达9kHz(一般为10.5kHz)且探针的Z轴扫描速率不低于48 mm/秒。Z轴最大扫描范围可从标准的15 µm扩展至30 µm(可另选Z扫描头)。

集成编码器的XY自动样品载台
encoders

编码器可用于所有自动样品载台,并可保证更高的重复定位精度,从而可更精确地控制样品测量位置。XY马达运动工作时分辨率为1 µm,重复率为2 µm。Z马达运动的分辨率为0.1 µm,重复率为1 µm。

操作方便的样品台
Sample-holder

借助独特的镜头设计,用户可从侧面操作控样品和探针。根据XY轴样品台所设定的行程范围,用户在样品台上可放置的最大样品体积为直径200 mm。

同轴高功率光学集成LED照明和CCD系统。
optics

定制物镜配有超长工作距离(51 mm,0.21的数值孔径,1.0 µm的分辨率),带来前所未有的镜头清晰度。

同轴光源设计让用户可轻易地在样品表面寻找测试区域,物镜最小分辨率为0.7  µm。得益于CCD的高端传感器,在获得较大视场的同时,分辨率却不受影响。由软件控制的LED光源能为样品表面提供足够的照明,便于清晰观察样品。

 

自动Z轴移动和聚焦系统
focus-stage

高度限行Z轴移动和聚焦系统,可以得到清晰的视野和图像,用户通过软件界面进行操作,由高精度步进电机驱动,即使液体或者透明样品也可快速找到样品表面。

 

 

Park NX20 - Technical Info | Park Atomic Force Microscope