失效分析的理想选择

Park NX20可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。高精密度可为用户带来高分辨率数据，让用户能够更加专注于工作。与此同时，非接触扫描模式让探针针尖更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。

大样品的缺陷检测成像与分析

Park NX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。

样品侧壁三维结构测量

NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必需的。
对样品和基片进行表面光洁度测量

表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精准的失效分析和质量保证。
高分辨率电子扫描模式

QuickStep SCM: 快捷的扫描式电容显微镜 PinPoint AFM: 无摩擦导电原子力显微镜
多种创新的前沿技术帮助顾客减少测试时间

通过对比重复扫描情况下探针针尖的形状变化，您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。借助真正非接触模式，探针针尖在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。
没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌

低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。

高速Z扫描仪，扫描范围为15µm

标准的Z扫描仪由高力量压电堆叠驱动，并由弯曲结构引导，具有超过9 kHz（通常为10.5 kHz）的高谐振频率，以及超过48 mm/sec的Z伺服速度，能够提供精准的反馈。可选的长扫描范围Z扫描仪可以将Z扫描范围从15µm扩展至30µm。

Step Scan Automation

使用电动样品台，Step-and-Scan 可以实现用户可编程的多区域成像。此自动化功能通过减少重复成像过程中用户的协助来提高生产力。

Step-and-Scan 过程包括:

扫描图像
提起悬臂
移动电动样品台至用户定义的坐标
近针
重复扫描

集成 LED 照明的直接同轴高功率光学系统

定制设计的物镜，具有51 mm 的工作距离和0.21 NA，提供1.0 µm的分辨率和清晰的同轴光学视图。自上而下的直接视图使目标区域的导航变得简易。EL20x 物镜具有20 mm 的工作距离、0.42 NA 和0.7 µm 的分辨率，以增强视野清晰度。更大的 CCD 传感器和软件控制的 LED 光确保了广泛的视野和充足的照明，以精准观察样品。