半導体関係での AFM計測技術
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  • 木下　健
    パーク・システムズ
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木下　健

この度新たに、産業用AFMにつきましてもウェビナーを開催いたします。弊社では半導体関係でのAFM計測のご要望に応えるため、300mmウエハーの自動搬送に対応したNX-Waferをはじめとする装置ラインナップを取り揃え、表面粗さや形状計測といった用途のみならず、プロファイラー機能や平坦基板の欠陥自動計測といったオプションも取り揃えております。

今回のウェビナーは、これらの計測技術をご紹介し、ウェビナーをご聴講いただく皆様のお困りごとを解決するきっかけとなれば幸いです。

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