满足工业检测与科研分析复合需求
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面向科研与质量检测的300 mm晶圆专用原子力显微镜
能够测量大至 300 mm 的晶圆,适用于多种高级原子力显微镜应用,包括选配的nano-IR 应用。
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更低的噪音和更小的热漂移
增强的机械结构降低了操作噪音、热漂移,并实现了更集中的SLD光束,突破了以往的限制。这显著提高了测量精度和高分辨率成像能力。
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小激光光斑尺寸
• 通过物镜聚焦SLD光束,激光光斑尺寸小
• 11µm的SLD光束直径使快速成像悬臂更具适用性 -
更快的Z伺服性能
• 由强力压电叠层驱动,并由柔性结构引导
• 新的FX AFM电子控制器提供更快的Z伺服性能和更高的精度 -
专业的工业研发应用
配备配方化常规测量、长程轮廓扫描与可旋转样品台的工业研发功能。
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集成工业级设施
工业级一体化设计,配备设施控制器、带有紧急制动装置的信号指示塔,以及选配的风机过滤单元(FFU)污染控制解决方案。
