SmartLitho

Park SmartLitho™

Park SmartScan™ 的友好型界面支持用户进行纳米光刻和纳米操作

Park SmartLitho 为使用 Park AFM 进行纳米尺度图案化和操控提供了直观且灵活的操作环境。该软件旨在让先进的纳米光刻技术更加易于使用,帮助用户高效地将创意转化为精确的纳米尺度结构,广泛适用于各种科研应用。

超简易的纳米光刻和纳米操作的智能化软件

由SmartScan所支持的Park SmartLitho功能,基于原子力显微镜平台,可实现对材料,电气和电子设备,纳米技术和其他研究领域进行纳米光刻和纳米操作。 Park SmartLitho软件具有多种光刻模式,支持矢量模式和光栅模式,在SmartScan平台上运行,它的友好型操作界面为用户提供了独立便捷的图形编辑器。

SmartScan™可提供一个独立便捷的绘图编辑器

Christmas Ball Lithography on Si

Park SmartScan™所支持的SmartLitho模式

Taegeuk Mark Lithography on PZT