有了AFM 的C-AFM影像可以帮助一些半导体业做一些快速的故障分析与学术上的研究,在降低成本上可说是好处多多。在感应电荷方面(EFM;KPFM), 也同样可以以低成本即可得到材料表面电荷跟相对于探针的功函数，也是对于研究开发很有帮助的利器。近来在半导体上电性量测量尤其重要，也可帮助解决与改善制程与良率上的问题。