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用于产线计量的原子力显微镜

晶圆厂AFM

Park原子力显微镜为半导体制造计量、元件失效分析和其他工业应用提供整个系列的自动化原子力显微镜。 它们允许工程师进行高度准确、可重复和完整的测量,从而提高制造效率和生产质量。