Park 原子力显微镜的 纳米力学模式
PinPoint™ 纳米力学模式
PinPoint™纳米力学模式在纳米力学特性方面实现高精分辨率与精度性能。与此同时还保证了刚度、弹性模量与附着力表现。XY扫描仪停动后,取用高速力-距离曲线,精准控制针尖与样品间的接触力与接触时间。由于数据采集时间可控,PinPoint™纳米力学模式利用高信噪比,支持多种样品表面上的纳米力学优化测量。
[高度]
[粘附力]
[模数]
[刚度]
PS-b-PEO (Polystylene-b-polyethylene oxide)
Scan size: 10µm
力对距离光谱
针尖-样品相互作用的力值量测
力-距离(F-d)曲线是一种分光镜检查技术,在Z轴扫描仪伸缩的同时,测量针尖与样品表面间的垂直相互作用。直接测量针尖与样品间的相互作用力时,对比悬臂偏转功能与压电扫描仪延伸,反映表面的力学性能。
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可从力与距离曲线测量的各种弹性性能。
Polymer on glass
Scan size: 10µm
Using Probe: NSC26CNSC36C
Imaged on a Park XE-Series using F-D Spectroscopy mode.
力阵列成像
针尖-样品相互作用的力值量测
力量成像技术通过标绘刚度、悬臂嵌入度及附着力等参数,绘制出一幅样品物料性质图。上述参数从力-距离(F-D)分光镜曲线中获取,通过矩阵式定距,帮助研究人员快速了解样品特性。
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Polymer on glass
Scan size: 10µm
Using Probe: NSC36C
Imaged on a Park XE-Series using Force-Distance spectroscopy mode.
力调制显微镜(FMM)
样品弹性的力幅和相位成像
力调制显微术模式负责测量样品表面的力学性能变化。在接触样品表面时对悬臂应用交流调制,从而监测幅相变化,了解定性的弹性响应与粘性响应。
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[形貌]/[相位]
Crystal Facetts
Scan size: 10µm
Using Probe: NSC36C
Imaged on a Park XE series using FMM.
横向力显微镜(LFM)
摩擦力映像
Park原子力显微镜不仅能够探测悬臂的垂直挠度,还可通过横向挠度生成横向力显微图象。
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[形貌] / [横向力显微镜图像(从左向右)] / [横向力显微镜图像(从右向左]
Polymer on Silicon
Scan size: 2µm
Using Probe: NSC36C
Imaged on a Park XE-Series using LFM Mode.
纳米光刻
先进闭环扫描系统矢量纳米光刻
纳米光刻模式支持通过施加力或电压,在样品表面操作与创建图形。导入自有的矢量图形或光栅(位图)图像,便可轻易通过针尖确定光刻位置。
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通过用针尖 (a)刨削表面并通过施加的偏压(b)改变表面而在表面上产生的图案
向量纳米光刻通过在-5和-10V之间施加负电压在矢量中产生图像。扫描速率在1和0.1μm/s之间变化。沉积氧化物的高度为约2-4纳米。
Si
Scan size: 4.5µm
Using Probe: Contsc Pt
Imaged on a Park XE-Series using XEL mode.
纳米压痕技术
纳米压痕模式向悬臂施加过力,在样品表面形成压痕,测量硬度与弹性等力学性能。
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纳米压痕技术通过将压针压入样品,测量局部区域的硬度。
SiOCH
Scan size: 5µm
Using Probe: Diamond indentor probe
Imaged on a Park XE-Series using Nanoindentation Mode.
弹簧常数校正(热测法)
维持正确的弹簧校正对于原子力显微镜的力数据精度至关重要。这也是Park通过热测法提供弹簧校正功能的原因,保证了每次取值的准确性。