Automatic Defect Review for Media and Substrates
Higher Throughput, Automatic Defect Review
NX-HDM的自动缺陷检查功能(Park ADR)可加速和改良媒介和基体缺陷的识别、扫描和分析流程。借助光学检查工具所提供的缺陷位置图，Park ADR可自动定位这些位置并进行成像（分两步）：
(1) 缩小扫描成像，以准确定位缺陷。
(2) 放大扫描成像，以获取缺陷的细节。在真实缺陷测试中，我们可以看到相比于传统的方法，该自动功能可将缺陷检查通量提高10倍。
Automated Search Scan & Zoom-in Scan
经过优化的扫描参数让两步式扫描更为快速：
(1) 快速的低分辨率搜寻式扫描，来准确定位缺陷。
(2) 高分辨率的放大扫描，来获取缺陷的细节。可调节的扫描尺寸和扫描速度参数能满足用户的所有需求。
Automatic Transfer and Alignment of Defect Maps to AFM
借助专有的先进映射算法，从自动光学检测(APO)工具中获取的缺陷坐标图可准确地传入和映射至Park NX-HDM。该技术让全自动高通量缺陷成像成为可能。
Map of Defect Coordinates from an Optical Inspection Tool
Accurate Sub-Angstrom Surface Roughness Measurement
Sub-Angstrom, Surface Roughness Measurement
业内对于超平面介质和基底的要求越来越高，所以需要满足设备体积不断减小的需求。此外，Park NX-HDM拥有精准的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着业内较低的本底噪声和True Non-Contact技术，Park NX-HDM毫成为市场上表面粗糙度测量较为精准的原子力显微镜。
Accurate AFM Scan by True Non-Contact™ Mode
True Non-Contact™ Mode
- 探针磨损更低=高分辨率扫描更长久
- 无损式探针-样品接触=样品变化程度小
- 避免参数依赖
Tapping Imaging
- 探针磨损更快=扫描图像模糊
- 破坏性探针-样品接触=样品受损变化
- 高参数依赖性
Accurate AFM Topography with Low Noise Z Detector
True Sample Topography™ without piezo creep error
- 形貌使用了低噪声Z轴探测器信号
- 宽带宽下0.02 nm的低Z轴探测器噪声
- 前沿和后沿无过冲
- 只需出厂前进行一次校准
Park NX AFM
Conventional AFM
Park NX-HDM features
借助强大的高分辨率数字CCD镜头和图形识别软件，Park NX-HDM让全自动图形识别和对准成为可能。
自动化软件让NX-HDM的操作变得简单便捷。测量程序针对悬臂调谐、扫描速率、增益和点参数进行优化，为您提供多位置分析。
自动化软件会按照测量文件中预设的程序进行样品测量。Park的用户友好型软件界面让用户可灵活执行全系统功能。创建新测量文件只需要10分钟左右的时间，而修改现有的测量文件则需要不到5分钟的时间。
Park NX-HDM具有：
• 自动、半自动和手动模式
• 各自动程序的可编辑测量方法
• 测量过程实时监测
• 自动分析所获取的测量数据
XY轴扫描器含有对称的二维柔性和高强度压电叠堆，可在保持平面外运动较少的情况下，实现高正交运动以及纳米级样品扫描下的高响应度。
XY轴扫描器的各轴上配有两个对称的低噪声位置感应器，得以在较大的扫描范围和样品尺寸下保持高正交扫描。双感应器能够修正和补偿单感应器引起的非线性和非平面位置误差。
借助高强度压电叠堆和柔性结构，标准Z轴扫描器的共振频率高达9 kHz以上（一般为10.5 kHz）且探针的Z轴移动速率不低于48 mm/秒，让信息反馈更为准确。 Z轴扫描范围可从标准的15 µm扩展至40µm（可选购的远距离Z轴扫描器）。
低噪声Z轴探测器替代Z电压，作为样貌信号。此外，低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。
为了检测小样品特征和成像较平的表面，Park推出行业本底噪声较低（< 0.5Å）的显微镜。本底噪声是在"零扫描"情况下确定的。当悬臂与样品表面接触时，在如下情况下测量系统噪声：
• 0 nm x 0 nm扫描范围，停在一个点
• 0.5增益，接触模式
• 256 x 256像素