生产率满足精度要求
自动换针 (ATX)
ATX通过图案识别自动定位针尖，并使用一种新颖的磁性方法使用过的探针脱离并拾取新的探针。然后通过电动定位技术自动对准激光光斑。.
用于更稳定扫描环境的离子化系统
我们创新的离子化系统快速有效地去除了样品环境中的静电电荷。由于该系统总是产生并维持正负离子的理想平衡，因此它可以创建一个特别稳定的电荷环境，几乎不会污染周围区域，且样品处理过程中产生意外静电的风险低微。
自动晶圆装卸器 (EFEM or FOUP)
NX-Wafer可配置各种自动晶圆装卸器(Cassette 或 FOUP 或其他)。高精度、非破坏性的晶圆装卸器的机器人臂充分确保用户始终获得快速可靠的晶圆测量。
