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晶圆厂唯一具有自动缺陷检测的原子力显微镜

用于高吞吐量CMP轮廓测量的高精确低噪声原子力轮廓仪

Park NX-Wafer是业界领先的半导体及相关制造业自动化AFM计量系统。该系统能提供晶圆制造厂检查和分析、裸晶圆和衬底的自动缺陷检测以及CMP轮廓测量。Park NX-Wafer具有最高的纳米级表面分辨率和亚埃级的高精度。在持续扫描后,探针针尖的变化可以忽略不计,仍具有高超的针尖锐度保护力。
Park NX-Wafer以其独特的自动系统功能而崭露头角,成为目前业界最先进的半导体AFM工具。该自动系统包括自动探针更换、实时监控、无参考标记的目标定位和自动分析。

Park NX-Wafer
 

Park NX-Wafer

  • 低噪声原子力轮廓仪,用于更精确的CMP轮廓测量
  • 亚埃级表面粗糙度测量具有极高的精度和极长的探针使用寿命
  • 用于缺陷成像和分析的全自动AFM解决方案
  • 全自动系统,包括自动探针更换、机器人晶片搬运
  • 能够扫描300 mm晶圆
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Park Wafer - Overview | Park Atomic Force Microscope